A study of the effects of polishing parameters on material removal rate and non-uniformity
Shih-Chieh Lin, Meng-Long WuТом:
42
Рік:
2002
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/s0890-6955(01)00089-x
Файл:
PDF, 121 KB
english, 2002