Studies on SiC film deposited by pulsed XeCl excimer laser sputtering method
Yuxia Wang, Yeqing Tang, Wei Chen, Weili Cai, Honggao TangТом:
228
Рік:
1996
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1016/s0921-4526(96)00499-1
Файл:
PDF, 493 KB
english, 1996