Self-organized technology of anisotropic etching of semiconductors for optoelectronics application
N.L Dmitruk, O.Yu Borkovskaya, O.I Mayeva, G.Ya Kolbasov, I.B MamontovaТом:
88
Рік:
2002
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/s0921-5107(01)00878-9
Файл:
PDF, 323 KB
english, 2002