Photo-enhanced chemical wet etching of GaN
C.H. Ko, Y.K. Su, S.J. Chang, W.H. Lan, Jim Webb, M.C. Tu, Y.T. CherngТом:
96
Рік:
2002
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/s0921-5107(02)00323-9
Файл:
PDF, 447 KB
english, 2002