PZT thin films integration for the realisation of a high...

PZT thin films integration for the realisation of a high sensitivity pressure microsensor based on a vibrating membrane

E. Defaÿ, C. Millon, C. Malhaire, D. Barbier

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

2002

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/s0924-4247(01)00883-4

Файл:

PDF, 170 KB

english, 2002

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась