A study of two-step silicon anisotropic etching for a polygon-shaped microstructure using KOH solution
In-Byeong Kang, Malcolm R. Haskard, Noel D. SamaanТом:
62
Рік:
1997
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/s0924-4247(97)01500-8
Файл:
PDF, 3.85 MB
english, 1997
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
