Laser and sputter-deposited amorphous films for stress detection
T. Meydan, P.I. Williams, A.N. Grigorenko, P.I. Nikitin, A. Perrone, A. ZoccoТом:
81
Рік:
2000
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/s0924-4247(99)00136-3
Файл:
PDF, 140 KB
english, 2000