The realization and design considerations of a flip-chip integrated MEMS tunable capacitor
Kevin F Harsh, Bingzhi Su, Wenge Zhang, Victor M Bright, Y.C LeeТом:
80
Рік:
2000
Мова:
english
Сторінки:
11
DOI:
10.1016/s0924-4247(99)00255-1
Файл:
PDF, 1.95 MB
english, 2000