Non-Aqueous Routes to Metal Oxide Thin Films by Atomic Layer Deposition
Erwan Rauwel, Guylhaine Clavel, Marc-Georg Willinger, Protima Rauwel, Nicola PinnaТом:
47
Рік:
2008
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1002/anie.200705550
Файл:
PDF, 344 KB
english, 2008