Active damping within an advanced microlithography system using piezoelectric Smart Discs
Jan Holterman, Theo J.A. de VriesТом:
14
Рік:
2004
Мова:
english
Сторінки:
20
DOI:
10.1016/s0957-4158(02)00093-4
Файл:
PDF, 706 KB
english, 2004
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
