Thermal Stability of Reactively Sputtered TiN on InP as a...

MRS Proceedings 1992 / 1 Vol. 260

Thermal Stability of Reactively Sputtered TiN on InP as a Diffusion Barrier

Pang, Zhengda, Boumerzoug, Mohamed, Kruzelecky, Roman V., Mascher, Peter, Simmons, John G.

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

260

Мова:

english

Журнал:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/proc-260-561

Date:

January, 1992

Файл:

PDF, 1.42 MB

english, 1992

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась