Correlation of The Mechanical Properties of Silicon...

MRS Proceedings 1995 / 1 Vol. 391

Correlation of The Mechanical Properties of Silicon Oxynitride Films to Processing Parameters, Film Stoichiometry, and Hydride Bond Concentration

Moinpour, Mansour, Moghadam, Farhad, Williams, Byron

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

391

Мова:

english

Журнал:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/proc-391-479

Date:

January, 1995

Файл:

PDF, 393 KB

english, 1995

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась