Metal induced crystallization of a-Si using a nano-layer of silicon oxide mask (MMIC)
Chunya Wu, Zhiguo Meng, Xuedong Li, Shuyun Zhao, Zhaojun Liu, Juan Li, Shaozhen Xiong, Man Wong, Hoi Sing KwokТом:
7
Рік:
2010
Мова:
english
Сторінки:
1
DOI:
10.1002/pssc.200982783
Файл:
PDF, 125 KB
english, 2010