In situ measurement of adsorbed nitrogen atoms for PA-MBE growth of group III nitrides on Si
Tadashi Ohachi, Nobuhiko Yamabe, Yuka Yamamoto, Motoi Wada, Osamu AriyadaТом:
8
Рік:
2011
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1002/pssc.201001129
Файл:
PDF, 408 KB
english, 2011