Scanning electron microscopy studies of double-layer silicon structures prepar by epitaxy and direct bonding
A. V. Govorkov, K. L. Enisherlova, M. G. Milvidskii, E. N. ChervyakovaТом:
19
Рік:
1997
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1002/sca.4950190108
Файл:
PDF, 1.31 MB
english, 1997