Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів

Design and fabrication of a differential capacitive...

Design and fabrication of a differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata
Наскільки Вам сподобалась ця книга?
Яка якість завантаженого файлу?
Скачайте книгу, щоб оцінити її якість
Яка якість скачаних файлів?
Том:
4
Рік:
2009
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1002/tee.20416
Файл:
PDF, 372 KB
english, 2009
Виконується конвертація в
Конвертація в не вдалась