Design and fabrication of a differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes
Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu TabataТом:
4
Рік:
2009
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1002/tee.20416
Файл:
PDF, 372 KB
english, 2009