First results of TXRF measurements of low-Z elements on Si wafer surfaces at the PTB plane grating monochromator beamline for undulator radiation at BESSY II
C. Streli, P. Wobrauschek, B. Beckhoff, G. Ulm, L. Fabry, S. PahlkeТом:
30
Рік:
2001
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1002/xrs.463
Файл:
PDF, 335 KB
english, 2001