ChemInform Abstract: PECVD Oxide Step-Coverage...

ChemInform Abstract: PECVD Oxide Step-Coverage Considerations for Use as an Interlayer Dielectric in CMOS DLM Processing.

BRADER, S. J. H., QUINLAN, S. C.

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Журнал:

ChemInform

DOI:

10.1002/chin.198851348

Date:

December, 1988

Файл:

PDF, 114 KB

1988

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась