Particle generation and film formation in an atmospheric-pressure chemical vapour deposition process using tetraethylorthosilicate
Motoaki Adachi, Kikuo Okuyama, Noboru TohgeТом:
30
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1007/bf01178427
Date:
February, 1995
Файл:
PDF, 955 KB
english, 1995