Accuracy of film thickness determination in electron probe microanalysis
Andreas Möller, Stephan Weinbruch, Frank J. Stadermann, Hugo M. Ortner, Klaus Neubeck, Adam G. Balogh, Horst HahnТом:
119
Рік:
1995
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1007/bf01244852
Файл:
PDF, 390 KB
english, 1995