Catalytic Chemical Vapor Deposition (Technology and Applications of Cat-CVD) || Physics and Technologies for Operating Cat-CVD Apparatus
Matsumura, Hideki, Umemoto, Hironobu, Gleason, Karen K., Schropp, Ruud E.I.Том:
10.1002/97
Рік:
2019
DOI:
10.1002/9783527818655.ch7
Файл:
PDF, 2.50 MB
2019