Role of volatile liquids in debris and hole taper angle reduction during femtosecond laser drilling of silicon
L. S. Jiao, E. Y. K. Ng, L. M. Wee, H. Y. ZhengТом:
104
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1007/s00339-011-6374-4
Date:
September, 2011
Файл:
PDF, 516 KB
english, 2011
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
