Integrating graphene into semiconductor fabrication lines
Neumaier, Daniel, Pindl, Stephan, Lemme, Max C.Том:
18
Мова:
english
Журнал:
Nature Materials
DOI:
10.1038/s41563-019-0359-7
Date:
June, 2019
Файл:
PDF, 1.03 MB
english, 2019