Surface-micromachined RF MEMs switches on GaAs substrates
Daniel Hyman, Juan Lam, Brett Warneke, Adele Schmitz, T. Y. Hsu, Julia Brown, James Schaffner, Andy Walston, Robert Y. Loo, Mehran Mehregany, Jae LeeТом:
9
Рік:
1999
Мова:
english
Сторінки:
14
DOI:
10.1002/(sici)1099-047x(199907)9:43.0.co;2-k
Файл:
PDF, 505 KB
english, 1999