Fabrication of RF MEMS variable capacitors by deep X-ray lithography and electroplating
Sven Achenbach, David Klymyshyn, Darcy Haluzan, Timo Mappes, Garth Wells, Jürgen MohrТом:
13
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1007/s00542-006-0213-0
Date:
February, 2007
Файл:
PDF, 368 KB
english, 2007
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
