Micro-ball lens array fabrication in photoresist using PTFE hydrophobic effect
Ruey Fang Shyu, Hsiharng Yang, Wen-Ren Tsai, Jhy-Cherng TsaiТом:
13
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1007/s00542-006-0265-1
Date:
July, 2007
Файл:
PDF, 328 KB
english, 2007