Micromachining of electroformed nickel mold using thick photoresist microstructure for imprint technology
Takayuki Shibata, Yoichi Takahashi, Takahiro Kawashima, Toshio Kubota, Mamoru Mita, Takashi Mineta, Eiji MakinoТом:
14
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1007/s00542-007-0501-3
Date:
October, 2008
Файл:
PDF, 303 KB
english, 2008
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
