Fabricating HARMS by using megasonic assisted electroforming
Gang Liu, Xinlong Huang, Ying Xiong, Yangchao TianТом:
14
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1007/s00542-007-0556-1
Date:
October, 2008
Файл:
PDF, 378 KB
english, 2008