Development of piezoelectric MEMS deformable mirror
Masashi Sato, Shogo Tsuda, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Osamu TabataТом:
17
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1007/s00542-010-1190-x
Date:
June, 2011
Файл:
PDF, 353 KB
english, 2011