Nanometer lapping technology at high speed
JianDong Yang, ChunLin Tian, ChangXing WangТом:
50
Мова:
english
Сторінки:
12
DOI:
10.1007/s11431-007-2030-9
Date:
February, 2007
Файл:
PDF, 2.67 MB
english, 2007