A Nanopatterning Technique: DUV Interferometry of a Reactive Plasma Polymer
Kimberly Annosha SablonТом:
4
Мова:
english
Сторінки:
2
DOI:
10.1007/s11671-009-9250-9
Date:
April, 2009
Файл:
PDF, 257 KB
english, 2009