Polymerized monomolecular layers: A new class of ultrathin resins for microlithography
André Barraud, Charles Rosilio, Annie Ruaudel-TeixierТом:
68
Рік:
1980
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1016/0040-6090(80)90139-x
Файл:
PDF, 446 KB
english, 1980