Humidity sensitivity of optical structures prepared by r.f.-biased r.f. sputtering
N.E. Holm, Orla ChristensenТом:
85
Рік:
1981
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/0040-6090(81)90056-0
Файл:
PDF, 266 KB
english, 1981