Electron cyclotron resonance plasma ion beam effects on the formation of SiC on Si(001) characterized by in-situ photoemission
M. Diani, D. Aubel, J.L. Bischoff, L. Kubler, D. BolmontТом:
241
Рік:
1994
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/0040-6090(94)90447-2
Файл:
PDF, 470 KB
english, 1994