MOVPE process for horizontal reactors with reduced parasitic deposition
H. Hardtdegen, N. Kaluza, R. Steins, R. Schmidt, K. Wirtz, E.V. Yakovlev, R.A. Talalaev, Yu.N. MakarovТом:
272
Рік:
2004
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1016/j.jcrysgro.2004.08.131
Файл:
PDF, 504 KB
english, 2004