Electrical properties of MIS capacitor using low temperature electron beam gun—evaporated HfAlO dielectrics
V. Mikhelashvili, B. Meyler, J. Shneider, O. Kreinin, G. EisensteinТом:
45
Рік:
2005
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/j.microrel.2004.11.022
Файл:
PDF, 225 KB
english, 2005