Characterization of Trench MOS Gate Structures Utilizing Photon Emission Microscopy
Masanori Usui, Takahide Sugiyama, Masayasu Ishiko, Jun Morimoto, Hirokazu Saitoh, Masaki AjiokaТом:
42
Рік:
2002
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/s0026-2714(02)00204-4
Файл:
PDF, 1.98 MB
2002