N2 remote plasma cleaning of InP to improve SiNx:H/InP...

N2 remote plasma cleaning of InP to improve SiNx:H/InP interface performance

E Redondo, M.N Blanco, I Mártil, G González-Dı́az

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

2000

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/s0026-2714(99)00322-4

Файл:

PDF, 109 KB

english, 2000

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась