Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів

Volume 21; Issue 3

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing

Volume 21; Issue 3
1

Product Yield Prediction System and Critical Area Database

Barnett, T.S., Bickford, J.P., Weger, A.J.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 639 KB
english, 2008
2

Study on the Mechanical Properties of CMP Pads

Bum Soo Kim,, Tucker, M.H., Kelchner, J.D., Beaudoin, S.P.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.15 MB
english, 2008
4

Measuring Power Distribution System Resistance Variations

Helinski, R., Plusquellic, J.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.30 MB
english, 2008
6

Embedded Stress Sensors for Strained Technologies Process Control

Kasbari, M., Delamare, R., Blayac, S., Rivero, C., Fortunier, R.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 811 KB
english, 2008
8

A Statistical Analysis of the Number of Failing Chips Distribution

O'Donoghue, Geoff, Gomez-Uribe, Carlos A.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.20 MB
english, 2008
12

Treatment of Copper from Cu CMP Waste Streams Using Polyethyleneimine

Maketon, W.K., Ogden, K.L.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 468 KB
english, 2008
13

Integrated Planning of Production and Engineering Process Improvement

Sukgon Kim,, Uzsoy, R.M.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 722 KB
english, 2008
14

Accurate Litho Model Tuning Using Design-Based Defect Binning

Vasek, J., Svidenko, V., Nehmadi, Y., Shimshi, R.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.37 MB
english, 2008
16

Interconnect Characterization: Accuracy, Methodology, and Practical Considerations

Elsayed, R.T., Farhang, A.R., Yip, J.C.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.04 MB
english, 2008
17

Impact of Production Control and System Factors in Semiconductor Wafer Fabrication

Chao Qi,, Sivakumar, A.I., Gershwin, S.B.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.26 MB
english, 2008
19

Last Metal Copper Metallization for Power Devices

Robl, W., Melzl, M., Weidgans, B., Hofmann, R., Stecher, M.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.03 MB
english, 2008
20

A Multiscale Bayesian SPRT Approach for Online Process Monitoring

Ganesan, R., Rao, A.N.V., Das, T.K.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 806 KB
english, 2008
22

Changes in the Editorial Board

Boning, Duane S.
Журнал:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 220 KB
english, 2008