Phosphorus gas doping in gas source silicon-MBE
Hiroyuki Hirayama, Toru TatsumiТом:
184
Рік:
1990
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/0040-6090(90)90405-3
Файл:
PDF, 243 KB
english, 1990