Performance and processing line integration of a silicon molecular beam epitaxy system
A.A. Van Gorkum, G.F.A. Van de Walle, R.A. Van den Heuvel, D.J. Gravesteijn, C.W. FredrikszТом:
184
Рік:
1990
Мова:
english
Сторінки:
13
DOI:
10.1016/0040-6090(90)90415-a
Файл:
PDF, 633 KB
english, 1990