Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024
Про збір коштів
пошук книг
книги
пошук статей
статті
Пожертвування:
26.1% досягнуто
Увійти
Увійти
авторизованим користувачам доступні:
персональні рекомедації
Telegram бот
історія завантажувань
надіслати на Email чи Kindle
управління добірками
зберігання у вибране
Особисте
Запити на книги
Вивчення
Журнали
Участь
Підтримати
Litera Library
Пожертвувати паперові книги
Додати паперові книги
Відкрити LITERA Point
Volume 912
Main
MRS Proceedings
Volume 912
MRS Proceedings
Volume 912
1
Physical Modeling of Defects, Dopant Activation and Diffusion in Aggressively Scaled Bulk and SOI Devices: Atomistic and Continuum Approaches
Moroz, Victor
,
Martin-Bragado, Ignacio
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.53 MB
Ваші теги:
english, 2006
2
Room Temperature Boron Diffusion in Amorphous Silicon
Jacques, Jeannette M.
,
Jones, Kevin S.
,
Law, Mark E.
,
Robertson, Lance S.
,
Rubin, Leonard M.
,
Napolitani, Enrico
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 382 KB
Ваші теги:
english, 2006
3
Analysis and Optimisation of New Implantation and Activation Mechanisms in Ultra Shallow Junction Implants using Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM)
Eyben, Pierre
,
Severi, Simone
,
Duffy, Ray
,
Pawlak, Bartek
,
Augendre, Emmanuel
,
Vandervorst, Wilfried
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 704 KB
Ваші теги:
english, 2006
4
PN Junction Formation for High-Performance Insulated Gate Bipolar Transistors (IGBT); Double-Pulsed Green Laser Annealing Technique
Kudo, Toshio Joshua
,
Wakabayashi, Naoki
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 621 KB
Ваші теги:
english, 2006
5
Enhanced Antimony Activation for Ultra-Shallow Junctions in Strained Silicon
Bennett, Nick
,
Smith, A. J.
,
Beer, C. S.
,
O'Reilly, L.
,
Colombeau, B.
,
Dilliway, G. D.
,
Harper, R.
,
McNally, P. J.
,
Gwilliam, R.
,
Cowern, N. E. B.
,
Sealy, B. J.
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 175 KB
Ваші теги:
english, 2006
6
Accurate Sheet Resistance Measurement on Ultra-Shallow Profiles
Clarysse, Trudo H.
,
Moussa, Alain
,
Leys, Frederik
,
Loo, Roger
,
Vandervorst, Wilfried
,
Benjamin, Mark C.
,
Hillard, Robert J.
,
Faifer, Vladimir N.
,
Current, Michael I.
,
Lin, Rong
,
Petersen, Dirch H.
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 135 KB
Ваші теги:
english, 2006
7
Enhanced Activation of Standard and Cocktail Spike Annealed Junctions with Additional Sub-melt Laser Anneal
Severi, Simone
,
Augendre, Emmanuel
,
Pawlak, Bartek
,
Eyben, Pierre
,
Noda, Taiji
,
Felch, Susan
,
Falepin, Annelies
,
Parihar, Vijay
,
Schreutelkamp, Robert
,
Vandervorst, Wilfried
,
De Meyer, Kristin
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 278 KB
Ваші теги:
english, 2006
8
Integration of Solid Phase Epitaxial Re-Growth, Flash and Sub-Melt Laser Annealing for S/D Junctions in CMOS Digital Technology
Severi, Simone
,
Augendre, Emmanuel
,
De Meyer, Kristin
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 438 KB
Ваші теги:
english, 2006
9
Ab-Initio Study of Boron Diffusion Retardation in Si1-xGex
Kim, Yonghyun
,
Kirichenko, Taras A.
,
Banerjee, Sanjay K.
,
Hwang, Gyeong S.
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 353 KB
Ваші теги:
english, 2006
10
Modeling and Simulation of the Influence of SOI Structure on Damage Evolution and Ultra-shallow Junction Formed by Ge Preamorphization Implants and Solid Phase Epitaxial Regrowth
Mok, Caroline
,
Colombeau, B.
,
Jaraiz, M.
,
Castrillo, P.
,
Rubio, J. E.
,
Pinacho, R.
,
Srinivasan, M. P.
,
Benistant, F.
,
Martin-Bragado, I.
,
Hamilton, J. J.
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 323 KB
Ваші теги:
english, 2006
11
Effect of B dose and Ge preamorphization energy on the electrical and structural properties of ultrashallow junctions in silicon-on-insulator
Hamilton, Justin J
,
Collart, Erik JH
,
Colombeau, Benjamin
,
Bersani, Massimo
,
Giubertoni, Damiano
,
Kah, Max
,
Cowern, Nicholas EB
,
Kirkby, Karen J
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 79 KB
Ваші теги:
english, 2006
12
Modeling and Experiments of Boron Diffusion During Sub-Millisecond Non-Melt Laser Annealing in Silicon
Noda, Taiji
,
Felch, Susan
,
Parihar, Vijay
,
Vrancken, Christa
,
Janssens, Tom
,
Bender, Hugo
,
Vandervorst, Wilfried
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 3.21 MB
Ваші теги:
english, 2006
13
Germanium & Carbon Co-implantation for Enhanced Short Channel Effect Control in PMOS Devices
Dumont, Benjamin
,
Pouydebasque, Arnaud
,
Pawlak, Bartek
,
Oudet, Benjamin
,
Delille, Dominique
,
Milesi, Frederic
,
Souifi, Kader
,
Skotnicki, Thomas
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 2.51 MB
Ваші теги:
english, 2006
14
The Carbon Co-implant with Spike RTA Solution for Boron Extension
Pawlak, Bartek
,
Augendre, Emmanuel
,
Severi, Simone
,
Eyben, Pierre
,
Janssens, Tom
,
Falepin, Annelies
,
Absil, Philippe
,
Vandervorst, Wilfried
,
Felch, Susan
,
Collart, Erik
,
Schreutelkamp, Robert
,
Cowern,
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 255 KB
Ваші теги:
english, 2006
15
Ultra Shallow Junctions Optimization with Non Doping Species Co-implantation
Cagnat, Nathalie
,
Laviron, Cyrille
,
Mathiot, Daniel
,
Duriez, Blandine
,
Singer, Julien
,
Gwoziecki, Romain
,
Salvetti, Frédéric
,
Dumont, Benjamin
,
Pouydebasque, Arnaud
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 96 KB
Ваші теги:
english, 2006
16
The Carbon Co-implant with Spike RTA Solution for Phosphorus Extension
Pawlak, Bartek
,
Duffy, Ray
,
Augendre, Emmanuel
,
Severi, Simone
,
Janssens, Tom
,
Absil, Philippe
,
Vandervorst, Wilfried
,
Collart, Erik
,
Felch, Susan
,
Schreutelkamp, Robert
,
Cowern, Nick
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 121 KB
Ваші теги:
english, 2006
17
Issues and Optimization of Millisecond Anneal Process for 45 nm node and beyond
Adachi, Kanna
,
Ohuchi, Kazuya
,
Aoki, Nobutoshi
,
Tsujii, Hideji
,
Ito, Takayuki
,
Itokawa, Hiroshi
,
Matsuo, Koji
,
Yoshinori, Honguh
,
Tamaoki, Naoki
,
Ishimaru, Kazunari
,
Ishiuchi, Hidemi
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 4.94 MB
Ваші теги:
english, 2006
18
Mechanisms for Interstitial-Mediated Transient Enhanced Diffusion of N-type Dopants
Harrison, Scott Anthony
,
Edgar, Thomas F.
,
Hwang, Gyeong S.
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.80 MB
Ваші теги:
english, 2006
19
Impurity Solubility and Redistribution Due to Recrystallization of Preamorphized Silicon
Duffy, Ray
,
Venezia, Vincent
,
Hopstaken, Marco
,
Maas, Geert
,
Dao, Thuy
,
Tamminga, Yde
,
Roozeboom, Fred
,
van der Tak, Karel
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 209 KB
Ваші теги:
english, 2006
20
Millisecond Annealing: Past, Present and Future
Timans, Paul
,
Gelpey, Jeff
,
McCoy, Steve
,
Lerch, Wilfried
,
Paul, Silke
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 193 KB
Ваші теги:
english, 2006
21
Interaction Between Low Temperatures Spacers and Source Drain Extensions and Pockets for Both NMOS and PMOS of the 65 nm Node Technology
Cagnat, Nathalie
,
Laviron, Cyrille
,
Mathiot, Daniel
,
Morin, Pierre
,
Salvetti, Frédéric
,
Villanueva, Davy
,
Juhel, Marc
,
Hopstaken, Marco
,
Wacquant, François
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 121 KB
Ваші теги:
english, 2006
22
Effect of Varying Dwell Time During Non-melt Laser Annealing of Boron Implanted Silicon
Zeenberg, Daniel
,
Jones, Kevin S
,
Felch, Susan B
,
Parihar, Vijay
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 411 KB
Ваші теги:
english, 2006
23
Defect Evolution During Laser Annealing
Felch, Susan B.
,
Mayur, Abhilash
,
Parihar, Vijay
,
Nouri, Faran
,
Jones, Kevin S.
,
Zeenberg, Daniel E.
,
Jones, Britta E.
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 653 KB
Ваші теги:
english, 2006
24
The Behavior of Ion Implanted Silicon During Ultra-High Temperature Annealing
Jain, Amitabh
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 551 KB
Ваші теги:
english, 2006
25
Thermally Induced Deformation and Stresses During Millisecond Flash Lamp Annealing
Smith, Mark
,
Seffen, Keith A.
,
McMahon, Richard A.
,
Anwand, Wolfgang
,
Skorupa, Wolgang
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 98 KB
Ваші теги:
english, 2006
26
Ge out-diffusion and its Effect on Electrical Properties in s-Si/SiGe Devices
Uppal, Suresh
,
Kanoun, Mehdi
,
Chattopadhyay, Sanatan
,
Agaiby, Rimoon
,
Olsen, Sarah H.
,
Bull, Steve J.
,
O'Neill, Anthony
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 310 KB
Ваші теги:
english, 2006
27
Deactivation of Ultra Shallow B and BF2 Profiles After Non-melt Laser Annealing
Sharp, Jim
,
Cowern, Nicholas E.B
,
Webb, Roger P.
,
Giubertoni, Damiano
,
Gennaro, Salvotore
,
Bersani, Massimo
,
Foad, Majeed A.
,
Kirkby, Karen J.
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 223 KB
Ваші теги:
english, 2006
28
Electrical Characterization of Residual Implantation-Induced Defects in the Vicinity of Laser-Annealed Implanted Ultrashallow Junctions
Gonda, V.
,
Liu, S.
,
Scholtes, T.L.M.
,
Nanver, L.K.
Журнал:
MRS Proceedings
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 89 KB
Ваші теги:
english, 2006
1
Перейдіть за
цим посиланням
або знайдіть бот "@BotFather" в Telegram
2
Надішліть команду /newbot
3
Вкажіть ім'я для вашого боту
4
Вкажіть ім'я користувача боту
5
Скопіюйте останнє повідомлення від BotFather та вставте його сюди
×
×